CLEANSORB^® FABLINE

CLEANSORB FABLINE ist das Standardmodell für Schadgasbeseitigung auf Produktionsebene. Es ist in drei Säulengrößen erhältlich und lässt sich optimal an die Erfordernisse einer Pilotlinie anpassen. Zusätzlich kann es einer vollständigen Produktionsanlage angepasst werden. Mit mehreren Tausend installierten Trockenbettabsorbersystemen weltweit ist das FABLINE durch das proprietäre CLEANSORB^® Granulat das ideale Modell. Seine integrierte Sicherheit und Effizienz eignet sich für die unterschiedlichsten Prozessapplikationen:

Plasmaätzen, CVD, ALD, Ionenimplantation und CIGS Photovoltaik.

Ihre Vorteile:

• Passives Operationsprinzip, kein Verbrauch von Strom, Treibstoff, Wasser
• Hergestellt aus korrosionsbeständigem 316L Edelstahl und weiteren Bauteilen von höchster Qualität
• Automatisiertes Verfahren für Druckhaltetest und Inertgasspülung erleichtern den Wechsel der Säulen
• Unterschiedlichste Konfigurationen, wie z. B. integrierter Blower
• Auch erhältlich mit SEMI-S2 Konformität mit zusätzlichen Sicherheitsstandards

Spezifische Fragen beantworten wir Ihnen gerne telefonisch oder per E-mail.