PLASMA CONVERSION SYSTEMS (PCS)

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PLASMA CONVERSION SYSTEMS PCS TROPO & PCS STRATO

Die Atmosphären- Plasma Conversion Systems PCS TROPO und PCS STRATO sind Hochleistungsplasmaquellen, entwickelt für den Abbau von perfluorierten Verbindungen wie CF4, CHF3, SF6 und NF3. Diese Verbindungen entstehen beim Ätzen von Halbleitern und ähnlichen Prozessen.

Abbildung des Plasma Conversion Systems PCS Tropo von CS CLEAN

Reaktive Nebenprodukte, die von beiden Plasma Conversion Systemen erzeugt werden, lassen sich am besten mit einem CLEANSORB®-Trockenbett-Chemisorber neutralisieren. Bestehende Anlagen, die für die PFC-Entfernung in Frage kommen, können mit beiden Systemen problemlos ergänzt und nachgerüstet werden, wie z. B. zentrale Nasswäscher.

Ihre Vorteile

  • Superior Destruction-Removal-Efficiency (DRE) von PFC Gasen
  • Optimierte Verbrennung mit niedrigen NOx-Emissionen von bis zu 50% im Vergleich zu anderen Abgasreinigungssystemen
  • Kein zusätzliches Brenngas, extrem niedrige CoO
  • Hybridtechnik mit direkten und indirekten Energieträgern
  • Ressourcenschonender, wasserfreier Betrieb
  • Erhöhte Produktivität
  • Niedrige Installationskosten
  • Niedrige Betriebskosten
  • Niedrige Wartungskosten

PLASMA CONVERSION SYSTEM PCS EXO

Das PCS EXO-System ist eine Hochleistungsplasmaquelle, die für den Abbau von NH3 entwickelt wurde, das bei GaN- und ähnlichen Prozessen freigesetzt wird.

Abbildung des Plasma Conversion Systems PCS EXO von CS CLEAN

Für bestehende Anlagen, die einen NH3– Abbau benötigen, kann das PCS EXO problemlos nachgerüstet werden. Das bei den Reinigungsschritten verwendete Chlor wird am besten mit einem CLEANSORB® Trockenbett-Chemisorber entfernt.

Ihre Vorteile

  • Verbrennung von bis zu 200 slm NH3 und 400 slm H2
  • Optimierte Verbrennung mit niedrigeren NOx-Emissionen von bis zu 50% im Vergleich zu anderen Abgasreinigungssystemen
  • Kein zusätzliches Brenngas, extrem niedrige CoO
  • Hybridtechnik mit direkten und indirekten Energieträgern
  • Ressourcenschonender, wasserfreier Betrieb
  • Erhöhte Produktivität
  • Niedrige Installationskosten
  • Niedrige Betriebskosten
  • Niedrige Wartungskosten

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