MOCVD, oder korrekter metallorganische Gasphasenabscheidung, (MOVPE bzw. OMVPE), ist ein Verfahren zur Herstellung monokristalliner (epitaktischer) Verbindungen aus Elementen der Gruppen III und V des Periodensystems. Verbindungen wie GaAs, InP und GaN werden zur Herstellung unterschiedlicher Produkte verwendet, wie z.B. optoelektronischer Bauteile, Transistoren, Solarzellen und LEDs.Aufgrund der Toxizität der verwendeten Materialien gehört das MOCVD-Verfahren zu den kritischsten Anwendungen in Bezug auf die Schadgasbeseitigung. Sicherheit des Bedienungspersonals und Vermeidung von toxischen Emissionen stehen hier im Mittelpunkt.
| MOCVD Prozess |
Typische Gase |
| Transistoren |
AsH3, PH3, NH3, TBAs, TBP, UDMH, TMAl, TMGa, TMIn, H2 |
| Optoelektronik |
| III-V Photovoltaik |
| LED Beleuchtung |
| III-V-on-Si |
