CLEANSORB^® FABLINE FX

FX ist die neueste Version der CLEANSORB® FABLINE Serie, deren Zuverlässigkeit sich bereits in mehreren tausend Installationen weltweit bewährt hat. Eine zusätzliche Backup-Säule bietet den Vorteil eines unterbrechungsfreien Zweisäulenmodells, jedoch mit geringerem Platzbedarf.

Betriebsmodi und Systemstatus können über ein Touchscreen-Display manuell visualisiert und ausgewählt werden, während Gasspülung und Dichtheitsprüfung der Absorbersäule vollständig automatisiert sind.

Dank der Sicherheit und Leistung der CLEANSORB®-Chemisorbermedien ist FABLINE FX das Modell der Wahl für eine Vielzahl von Prozessanwendungen, darunter:

Plasma Ätzen, CVD, ALD, Ionenimplantation und Photovoltaik.

Ihre Vorteile

• Passives Funktionsprinzip, benötigt weder Strom noch Heizung, Kraftstoff oder Wasser
• Hergestellt aus korrosionsbeständigem 316L-Edelstahl und hochwertigen Komponenten
• Modernste Fernanbindung über USB, Ethernet, FTP, NTP, OPC.
• Große Auswahl an Konfigurationen und Optionen, einschließlich integriertem Gebläse
• Erhältlich als SEMI-S2-konforme Version mit redundanten Sicherheitsfunktionen

Spezifische Fragen beantworten wir Ihnen gerne telefonisch oder per E-mail.