CLEANSORB® FABLINE FX

Abbildung Cleansorb Abgasreinigung, fabline gasreinigung produkt

CLEANSORB FABLINE FX Abgasreinigung ist die neueste Version der Serie, deren Zuverlässigkeit sich bereits in mehreren tausend Installationen von CS CLEAN SOLUTIONS weltweit bewährt hat. Eine zusätzliche Backup-Säule des FABLINE FX Produktes bietet den Vorteil eines unterbrechungsfreien Zweisäulenmodells, jedoch mit geringerem Platzbedarf.

Betriebsmodi und Systemstatus werden komfortabel über ein Touchscreen-Display visualisiert und ausgewählt. Gasspülung und Dichtheitsprüfung der Absorbersäule sind bei der Abgasreinigung vollständig automatisiert.

Dank der Sicherheit und Leistung aller CLEANSORB-Chemisorbermedien ist FABLINE FX das Modell der Wahl für Ihre spezifische Prozessanwendung, darunter:

Plasma Ätzen, CVD, ALD, Ionenimplantation und Photovoltaik.

FABLINE FX Vorteile

  • Passives Funktionsprinzip, benötigt weder Strom noch Heizung, Kraftstoff oder Wasser
  • Hergestellt aus korrosionsbeständigem 316L-Edelstahl und hochwertigen Komponenten
  • Modernste Fernanbindung über USB, Ethernet, FTP, NTP, OPC.
  • Große Auswahl an Konfigurationen und Optionen, einschließlich integriertem Gebläse
  • Erhältlich als SEMI-S2-konforme Version mit redundanten Sicherheitsfunktionen

Spezifische Fragen beantworten wir Ihnen gerne telefonisch oder per E-Mail.