CLEANSORB^® PRIMELINE PS UND PD

Die PRIMELINE-Serie verfügt über die meisten Funktionen. Damit übertrifft sie unsere gesamte Palette der Abgasreinigungssysteme. Das System ist speziell konstruiert, um hohe Gasflüsse zu bewältigen. PRIMELINE genügt den Erfordernissen sicherheits-kritischer Anwendungen – insbesondere der metallorganischen Gasphasenabscheidung (MOCVD).

Das etwas kleinere Modell CLEANSORB PS verfügt zusätzlich zur Hauptsäule über eine Backup-Säule. So kann der Produktionsprozess auch dann zu Ende geführt werden, wenn die Kapazität der Hauptsäule erschöpft ist. Im größeren Modell CLEANSORB PD sind zwei Hauptsäulen sowie eine zusätzliche Backup-Säule integriert, so dass die volle SEMI-konforme Sicherheitsfunktion dieses Trockenbettabsorbers auch bei Betrieb mit nur einer der beiden Hauptsäulen erhalten bleibt, während die zweite Hauptsäule unabhängig gespült und zum Austausch ausgebaut werden kann.

CLEANSORB® PRIMELINE Vorteile

• Spezielle CLEANSORB Chemisorber Materialien für kritische Gase aus MOCVD-Prozessen, wie z. B. AsH₃, PH₃ oder GeH₄
• Optimiert für sichere Handhabung hoher Ströme aus Silizium- und III-V-Epitaxie-Prozessen und verfügbar für ein breites Spektrum an Prozessen
• Einzigartige Kontrollfunktionen wie z. B. eine Infrarot-Schiene zur Messung des Temperaturprofils, optionale Einlassheizung und ein Stickstoff-Kühlmechanismus
• 2 Säulensystem für maximale Systemverfügbarkeit und höhere Produktivität
• Auch erhältlich mit SEMI-S2 Konformität mit zusätzlichen Sicherheitsstandards
• Keine Ausfallzeiten beim Säulenwechsel für alle Anwendungen möglich
• Geringer Wartungsaufwand
• Verschiedene Gassensoren verfügbar
• Optionale Kommunikationsschnittstellen wie z.B. Remote Zugriff für schnelle Unterstützung

Spezifische Fragen beantworten wir Ihnen gerne telefonisch oder per E-Mail.