Technologien zur Abgasreinigung mit Trockenbettchemisorption

Relevante Technologien zur Abgasreinigung von Prozesssondergasen sind prädestiniert für die Waferbearbeitung, die Solarindustrie sowie in der MEMS-Fertigung. Diese Gase wirken pyrophor, toxisch oder korrosiv. Unverbrauchte Prozessgase und gefährliche Nebenprodukte müssen effizient und zuverlässig aus den Abluftkanälen entfernt werden, um die Sicherheit des Personals, den Umweltschutz und einen unterbrechungsfreien Produktionsbetrieb zu gewährleisten.

CLEANSORB-Technologie

Die CLEANSORB-Technologie basiert auf der Trockenbett-Chemisorption bei Raumtemperatur. Gefährliche Gase werden in stabile anorganische Feststoffe umgewandelt. Die Chemisorptionsreaktion zwischen Gas und Absorbens ist irreversibel. Dadurch wird sichergestellt, dass gefährliche Gase in fester Form gebunden werden und nicht wieder freigesetzt werden können.

Nach dem Ausbau aus dem CLEANSORB-System kann die Absorbersäule an das nächstgelegene CS CLEAN SOLUTIONS Refill- und Servicecenter geschickt werden, wo sie gemäß den gesetzlichen Bestimmungen gereinigt, mit frischem Absorbergranulat befüllt und auf volle Funktionsfähigkeit getestet wird. Soweit möglich, wird das gebrauchte Absorbergranulat für eine andere Nutzungen aufbereitet.

Unser Granulat unterliegt einer ständigen Qualitätskontrolle und wird in der Forschungs- und Entwicklungsabteilung verbessert, um bei der Einführung neuer Technologien stets auf dem neuesten Stand zu bleiben.