Reinigung von Prozessabgasen mit Trockenbetttechnologie

Die meisten Prozess-Spezialgase für die Waferverarbeitung, Solarindustrie, sowie in der MEMS Fertigung wirken pyrophor, toxisch oder korrosiv. Unverbrauchte Prozessgase und gefährliche Nebenprodukte müssen effizient und verläßlich aus den Abgasleitungen entfernt werden, um Sicherheit für das Personal, Umweltschutz und unterbrechungsfreien Produktionsbetrieb zu gewährleisten.

Die CLEANSORB-Technologie beruht auf Trockenbettchemisorption bei Raumtemperatur. Gefährliche Gase werden in stabile anorganische Feststoffe umgewandelt. Die Chemisorptionsreaktion zwischen Gas und Absorbens ist nicht umkehrbar. So wird sichergestellt, dass gefährliche Gase in fester Form gebunden sind und nicht erneut freigesetzt werden können.

Nach dem Ausbau aus dem CLEANSORB-System kann die Absorbersäule in das nächstgelegene CS CLEAN SOLUTIONS Refill- und Servicezentrum eingesandt werden, wo sie gesetzeskonform gereinigt, mit frischem Absorbergranulat befüllt und auf volle Funktionsfähigkeit getestet wird. Soweit möglich wird das verbrauchte Absorbergranulat für andere Nutzungen aufbereitet.

Unsere Granulate werden laufend Qualitätskontrollen unterzogen und in der Forschungs- und Entwicklungsabteilung verbessert, um bei der Einführung neuer Technologien auf der Höhe der Zeit zu sein.