CLEANSORB ABGASREINIGUNG MIT CLEANSORB PRIMELINE

Abgasreinigung mit der PRIMELINE-Serie bietet den größten Funktionsumfang. Damit übertrifft sie unser gesamtes Angebot an Abgasreinigungssystemen. Das System ist speziell für hohe Gasdurchsätze ausgelegt. PRIMELINE erfüllt die Anforderungen sicherheitskritischer Anwendungen – insbesondere für die metallorganische Gasphasenabscheidung (MOCVD).

Das etwas kleinere Modell CLEANSORB PS verfügt zusätzlich zur Hauptsäule über eine Backup-Säule. So kann der Produktionsprozess auch dann zu Ende geführt werden, wenn die Kapazität der Hauptsäule erschöpft ist. Im größeren Modell CLEANSORB PD sind zwei Hauptsäulen sowie eine zusätzliche Backup-Säule integriert, so dass die volle SEMI-konforme Sicherheitsfunktion dieses Trockenbettabsorbers auch bei Betrieb mit nur einer der beiden Hauptsäulen erhalten bleibt, während die zweite Hauptsäule unabhängig gespült und zum Austausch ausgebaut werden kann.

Ihre Vorteile

• Spezielle CLEANSORB^® Chemisorber Materialien für kritische Gase aus MOCVD-Prozessen, wie z. B. AsH₃, PH₃ oder GeH₄
• Optimiert für sichere Handhabung hoher Ströme aus Silizium- und III-V-Epitaxie-Prozessen
• Einzigartige Kontrollfunktionen wie z. B. eine Infrarot-Schiene zur Messung des Temperaturprofils und ein Stickstoff-Kühlmechanismus
• Back-up Säule für maximale Systemverfügbarkeit und höhere Produktivität
• Auch erhältlich mit SEMI-S2 Konformität mit zusätzlichen Sicherheitsstandards

Spezifische Fragen beantworten wir Ihnen gerne telefonisch oder per E-Mail.