废气治理技术

在半导体晶片加工和其他制造行业，使用的特殊工艺气体很多都易燃、有毒或腐蚀性。为确保人身安全、遵守法定排放标准、保证正常运行时间，必须从排气管线中安全、有效地清除不使用的工艺气体和危险副产品。

CLEANSORB^® 干燥化学吸收介质通过在室温下化学反应生成稳定的固体来去除危险工艺气体，它是有利于 CS CLEAN SOLUTIONS 干式净化产品线的技术。操作无需外部加热、加湿或其它设施。气体和吸收剂的化学吸收反应是不可逆的，确保危险气体保持固体形态，不会被重新释放。

当从 CLEANSORB 柜中去除之后，颗粒柱便可装运到最近的 CS CLEAN SOLUTIONS 替换和服务中心。在这里，根据当地或国内法规清洗、替换、检查和测试吸收器颗粒柱。如可能，废气的材料可以重新加工用于回收金属或其他工业用途。