CIGS 光伏

CIGS 光伏是指从(又称硫化物)生长的薄膜。CIGS 结构是沉积形成的极薄薄膜,除了玻璃,还沉积在聚合物等灵活衬底上。虽然并非所有 CIGS 生产工艺都依赖气体,但常见技术是运用共蒸发或固体源溅射来形成 Cu-In-Ga 合金,然后使用 H2Se 和 H2S 气体进行硒化和硫化。这些高度有毒的气体能够很好地在干式基底上以化学方式吸收,尤其是干式反应副产品的简单、安全处理。CLEANSORB 专用型号可用于高容量 CIGS 制造中。

工艺应用使用的典型气体
CIGS 光伏H2Se、H2S
CLEANSORB® At Work