气体扩散和紧急排放围阻

这些特殊气体从气缸或室外坑中的大容器提供来加工工具。使用的很多气体通常都有毒性、易燃或腐蚀性。
由于加压高浓度气体的数量,这些气体从气缸中不受控的排放会对工作场所和周边社区造成严重安全隐患。当气源板清洗了剩余气体后,在气缸更换期间,也需要安全处理危险气体。

咨询我们,了解关于 CLEANVENT 滤筒和 CLEAN-PROTECT 紧急吸收器,获取气源的安全要求。

气体类型示例
有毒AsH3、H2S、COCl2、HCN
易燃PH3、B2H6、GeH4
腐蚀HCl、Cl2、HBr、BF3、F2
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