化合物半导体 (MOCVD)

MOCVD 或更准确地讲金属有机化学气相外延(MOVPE 或 OMVPE),是使用元素周期表的 III 和 V 族元素生长单晶(外延)化合物的技术。GaAs、InP 和 GaN 等化合物用于生产各种产品,包括光电设备、晶体管、太阳能电池和 LED,数不胜数。

鉴于所用材料的毒性,MOCVD 成为废气管理中最安全的应用。人身安全、消除有毒气体排放到空气及水中是头等大事。

MOVCD 应用使用的典型气体
晶体管AsH3、PH3、NH3、TBAs、TBP、UDMH、TMAl、TMGa、TMIn、H2
光电
III-V 光电
LED 照明
III-V-on-Si
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