CLEANSORB ®  PRIMELINE PS 和 PD

PRIMELINE系列代表了CLEANSORB系列干床废气减排系统的全功能版本。该系统专门设计用于处理安全关键工艺应用的气流和相关操作条件 – 特别是金属有机化学气相沉积（MOCVD）。

占地面积较小的CLEANSORB PS型号具有备用色谱柱，即使在主吸收塔的容量耗尽后也可以完成生产。较大的CLEANSORB PD型号包括两个全尺寸吸收柱和一个备用柱; 一个主色谱柱可以保持活性吸收废气，具有完全符合SEMI-S2标准的安全保护，而第二个色谱柱在从机柜中取出进行再填充之前可以独立吹扫。

你的优势：

  • 专用CLEANSORB ®  chemisorber媒体关键MOCVD气体例如灰分3，PH 3  或GeH的4
  • 针对高流动硅和III-V外延工艺的安全热管理进行了优化
  • 独特的安全功能，如红外线温度监控和惰性气体冷却
  • 具有自动操作程序的触摸屏控制（PD模型）
  • 提供符合SEMI-S2标准的版本，具有冗余安全功能

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