CLEANSORB® FABLINE

FABLINE是在生产层面去除有毒气体的标准模型。 它有三种尺寸可供选择,可以根据先导线的要求进行最佳调整。 此外,它可以适应完整的生产工厂。 FABLINE在全球范围内安装了数千个干床吸收系统,凭借专有的CLEANSORB®颗粒,FABLINE成为理想的模型。 其集成的安全性和效率涵盖了广泛的过程应用:

等离子蚀刻,CVD,ALD,离子注入和CIGS光伏。

你的优势:

  • 被动工作原理,不需要电,暖气,燃料或水
  • 由耐腐蚀的316L不锈钢和高品质,值得信赖的组件构成
  • 压力保持测试和惰性气体吹扫的自动化程序简化了色谱柱更换
  • 多种配置和选项,包括集成式鼓风机
  • 提供符合SEMI-S2标准的版本,具有冗余安全功能

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