ТЕХНОЛОГИЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ОТХОДЯЩИХ ГАЗОВ

Большое число специальных технологических газов, используемых при обработке полупроводниковых подложек и в других обрабатывающих отраслях промышленности, являются самовоспламеняющимися, токсичными или агрессивными веществами. Неиспользуемые технологические газы и опасные побочные продукты должны эффективно и безопасно удаляться из линий выпуска для обеспечения безопасности персонала, соответствия требованиям стандартов по токсичным выбросам и повышения срока безотказной работы.

Слой сухого хемосорбента CLEANSORB® удаляет опасные технологические газы при химическом преобразовании в устойчивую твердую фазу при температуре окружающей среды, являясь основой инновационной технологии сухой очистки CS CLEAN SOLUTIONS. Для ее функционирования не требуется внешний нагрев, увлажнение или другие специальные условия. Реакция хемосорбции между газом и адсорбентом необратима, гарантируя, что опасные газы связаны в твердой форме и их высвобождение невозможно.

После извлечения из шкафа CLEANSORB колонна готова к отправке в ближайший центр перезарядки и обслуживания CS CLEAN SOLUTIONS. В центре абсорбционные колонны очищаются, перезаряжаются, проверяются и испытываются в соответствии с местными и национальными нормативами. При возможности отработанные материалы подвергаются вторичной переработке для извлечения металлов или в других целях промышленного использования.

Выпускаемые компанией поглотители постоянно подвергаются процедурам контроля качества, постоянно ведутся исследовательские и конструкторские работы, чтобы не отстать от химических технологий и технологий переработки.