CLEANSORB® PRIMELINE PS И PD

Серия PRIMELINE представляет собой полнофункциональную версию семейства систем очистки воздуха для выхлопных газов с сухим слоем CLEANSORB. Система специально спроектирована для обработки потоков газа и связанных с ними условий эксплуатации критически важных технологических процессов, в частности, для металлического органического химического осаждения паров ( MOCVD ).

Модели CLEANSORB PS с меньшим размером основания имеют резервную колонку, позволяющую завершить производство до тех пор, пока емкость основной абсорбирующей колонны не будет исчерпана. Большая модель CLEANSORB PD включает в себя две колонки с полным поглотителем и резервную колонку; одна основная колонна может оставаться активной абсорбирующей выхлопной газой с полной защитой безопасности, совместимой с SEMI-S2, в то время как вторая колонка независимо вымывается перед удалением из шкафа для заправки.

Ваши преимущества:

  • Выделенный CLEANSORB® chemisorber сред для критических MOCVD газов, таких как AsH3, PH3 или GeH4
  • Оптимизирован для безопасного термического управления высокопотоковыми кремниевыми и III-V эпитаксиальными процессами
  • Уникальные функции безопасности, такие как инфракрасный контроль температуры и охлаждение инертным газом
  • Управление сенсорным экраном (модель PD) с автоматизированными рабочими процедурами
  • Доступна в виде совместимой с SEMI-S2 версии с избыточными функциями безопасности

Мы будем рады ответить на конкретные вопросы, которые могут возникнуть у вас, пожалуйста, позвоните нам или отправьте нам  электронное письмо.