Проблемы, сопровождающие усилия по уменьшению загрязнения окружающей среды в результате процессов плазменного травления, включают следующие. Потери рабочего времени из-за засорения линий выпуска травления металлов; коррозия трубопроводов агрессивными реактивами для травления, особенно соединениями брома; потенциал эффекта глобального потепления под воздействием перфторированных газов; выбросы токсичных побочных продуктов травления в воздух и воду (например, трехокиси мышьяка при травлении арсенида галлия).