Большая часть процессов химического осаждения из паровой фазы включает шаг плазменной очистки технологических камер для удаления отложений кремния, металлов, оксидов или других побочных продуктов химического осаждения из паровой фазы со стен камер между шагами обработки полупроводниковых пластин.
Наиболее распространенным способом при химическом осаждении кремния из паровой фазы является использование предварительного источника плазмы для генерирования фтора в качестве травящего вещества из трехфтористого азота, NF3.
Перемежающаяся интенсивная подача агрессивных газов для очистки камер вызывает проблему для большого числа несухих способов очистки. Технология сухого поглощения CLEANSORB обеспечивает возможность удаления агрессивных кислых газов «у источника», исключая необходимость дорогостоящих процессов очистки сточных вод, содержащих хлориды и фториды.
Использование в технологических процессах
Типичные используемые газы
Чистая кремниевая камера
F2 (от удаленной плазмы NF3)
Чистая камера MOCVD
Cl2, HCl
Чистая фотоэлектрическая камера
F2 (из генератора фтора)
Уведомление о cookie
Übersicht über alle verwendeten Cookies: Sie können Ihre Zustimmung zu ganzen Kategorien geben oder weitere Informationen anzeigen lassen und nur bestimmte Cookies auswählen.
Informationen zum Datenschutz und Impressum finden Sie hier. Die Cookie- Richtlinie finden Sie hier: отбросыНастройки cookieДа принимаю
Политика конфиденциальности и политика использования файлов cookie
Конфиденциальность Обзор
Diese Website verwendet Cookies, um Nutzungskomfort zu verbessern. Von diesen Cookies werden die akzeptierten Cookies im Browser gespeichert, da sie für das Funktionieren der Website unerlässlich sind. Wir verwenden auch Cookies von Drittanbietern, mit denen wir analysieren und nachvollziehen können, wie Sie diese Website nutzen. Diese Cookies werden nur mit Ihrer Zustimmung in Ihrem Browser gespeichert. Sie haben auch die Möglichkeit, diese Cookies zu deaktivieren. Das Deaktivieren einiger dieser Cookies kann sich jedoch auf Ihr Surferlebnis auswirken.
Необходимые куки необходимы для нормального функционирования сайта. Эта категория содержит только файлы cookie, которые обеспечивают основные функциональные возможности и функции безопасности сайта. Эти куки не хранят личную информацию.
Все файлы cookie, которые не являются строго необходимыми для функционирования веб-сайта и которые специально используются для сбора личной информации пользователя с помощью аналитики, рекламы и другого встроенного содержимого, называются несущественными файлами cookie. Перед использованием этих файлов cookie на вашем веб-сайте необходимо получить согласие пользователя.