Осаждение атомных слоев (ОАС) обеспечивает возможность управлять ростом эпитаксиальных слоев и слоев, образующихся в результате процессов химического осаждения из паровой фазы на атомном уровне. Пленкообразующие соединения вводятся попеременно в камеру для выращивания для образования мономолекулярных слоев, обеспечивая возможность роста структур устройства с размерами 20 нм и меньше.
Отложение затворов транзисторов последнего поколения и других ответственных структур требует комплексов металлов и других макромолекул, которые доступны только в жидких металлорганических источниках. Технология сухого поглощения химических веществ CLEANSORB обеспечивает безопасное и эффективное решение для широкого спектра газообразных и жидких исходных реагентов осаждения атомных слоев (ОАС).
Процесс осаждения атомных слоев (ОАС)
Типичные используемые газы
Электроды затвора
MPA, Ru(Cp)2, PEMAT
Диэлектрики с пониженной диэлектрической проницаемостью
1MS, 2MS, 3MS, DMDMOS
Диэлектрики с высокой диэлектрической проницаемостью
ТМА, ТЭМАГ, ТДЭАГ, TAETO, PET
Барьерные слои
TiCl4, NH3, ТДМАТ, PDMATa, PDEATa, TAETO, W(CO)6
Уведомление о cookie
Übersicht über alle verwendeten Cookies: Sie können Ihre Zustimmung zu ganzen Kategorien geben oder weitere Informationen anzeigen lassen und nur bestimmte Cookies auswählen.
Informationen zum Datenschutz und Impressum finden Sie hier. Die Cookie- Richtlinie finden Sie hier: отбросыНастройки cookieДа принимаю
Политика конфиденциальности и политика использования файлов cookie
Конфиденциальность Обзор
Diese Website verwendet Cookies, um Nutzungskomfort zu verbessern. Von diesen Cookies werden die akzeptierten Cookies im Browser gespeichert, da sie für das Funktionieren der Website unerlässlich sind. Wir verwenden auch Cookies von Drittanbietern, mit denen wir analysieren und nachvollziehen können, wie Sie diese Website nutzen. Diese Cookies werden nur mit Ihrer Zustimmung in Ihrem Browser gespeichert. Sie haben auch die Möglichkeit, diese Cookies zu deaktivieren. Das Deaktivieren einiger dieser Cookies kann sich jedoch auf Ihr Surferlebnis auswirken.
Необходимые куки необходимы для нормального функционирования сайта. Эта категория содержит только файлы cookie, которые обеспечивают основные функциональные возможности и функции безопасности сайта. Эти куки не хранят личную информацию.
Все файлы cookie, которые не являются строго необходимыми для функционирования веб-сайта и которые специально используются для сбора личной информации пользователя с помощью аналитики, рекламы и другого встроенного содержимого, называются несущественными файлами cookie. Перед использованием этих файлов cookie на вашем веб-сайте необходимо получить согласие пользователя.