Основной шаг формирования областей легированных фосфором и донорной примесью при изготовлении цепей интегральных транзисторов заключается в введении в кремниевую подложку регулируемого количества элементов групп III, IV и V в малой концентрации легирующих веществ.
Хотя объемная скорость потока легирующих веществ в ионной имплантации относительно низкая, используемые газы являются очень токсичными, поэтому требуется их очистка. Большая часть загрязняющих веществ выпускается с источника ионизации установки ионной имплантации, поэтому источник ионизации и камера изготовления полупроводниковых пластин-подложек должны присоединяться к сухому поглотителю CLEANSORB.
Тип ионной имплантации
Типичные используемые газы
Среднеточные
AsH3, PH3, BF3, SiF4, GeF4
Сильноточные
Высокой энергии
Фотоэлектрический
Уведомление о cookie
Вот обзор всех используемых файлов cookie. Вы можете дать свое согласие на целые категории или показать больше информации и выбрать только определенные куки. Для получения информации о конфиденциальности и юридической информации см. здесь : Настройки cookieДа принимаю
Политика конфиденциальности и политика использования файлов cookie
Конфиденциальность Обзор
Этот веб-сайт использует куки-файлы для улучшения вашего удовольствия от использования при навигации по сайту. Эти куки-файлы хранят категоризированные куки-файлы в вашем браузере, так как они необходимы для функционирования веб-сайта. Мы также используем сторонние файлы cookie, которые мы используем для анализа и понимания того, как вы используете этот сайт. Эти куки хранятся в вашем браузере только с вашего согласия. У вас также есть возможность отключить эти куки. Однако отключение некоторых из этих файлов cookie может повлиять на работу в Интернете.
Этот веб-сайт использует куки-файлы для улучшения вашего удовольствия от использования при навигации по сайту. Эти куки-файлы хранят категоризированные куки-файлы в вашем браузере, так как они необходимы для функционирования веб-сайта. Мы также используем сторонние файлы cookie, которые мы используем для анализа и понимания того, как вы используете этот сайт. Эти куки хранятся в вашем браузере только с вашего согласия. У вас также есть возможность отключить эти куки. Однако отключение некоторых из этих файлов cookie может повлиять на работу в Интернете.
Необходимые куки необходимы для нормального функционирования сайта. Эта категория содержит только файлы cookie, которые обеспечивают основные функциональные возможности и функции безопасности сайта. Эти куки не хранят личную информацию.
Все файлы cookie, которые не являются строго необходимыми для функционирования веб-сайта и которые специально используются для сбора личной информации пользователя с помощью аналитики, рекламы и другого встроенного содержимого, называются несущественными файлами cookie. Перед использованием этих файлов cookie на вашем веб-сайте необходимо получить согласие пользователя.
