Основной шаг формирования областей легированных фосфором и донорной примесью при изготовлении цепей интегральных транзисторов заключается в введении в кремниевую подложку регулируемого количества элементов групп III, IV и V в малой концентрации легирующих веществ.
Хотя объемная скорость потока легирующих веществ в ионной имплантации относительно низкая, используемые газы являются очень токсичными, поэтому требуется их очистка. Большая часть загрязняющих веществ выпускается с источника ионизации установки ионной имплантации, поэтому источник ионизации и камера изготовления полупроводниковых пластин-подложек должны присоединяться к сухому поглотителю CLEANSORB.
Тип ионной имплантации
Типичные используемые газы
Среднеточные
AsH3, PH3, BF3, SiF4, GeF4
Сильноточные
Высокой энергии
Фотоэлектрический
Уведомление о cookie
Übersicht über alle verwendeten Cookies: Sie können Ihre Zustimmung zu ganzen Kategorien geben oder weitere Informationen anzeigen lassen und nur bestimmte Cookies auswählen.
Informationen zum Datenschutz und Impressum finden Sie hier. Die Cookie- Richtlinie finden Sie hier: отбросыНастройки cookieДа принимаю
Политика конфиденциальности и политика использования файлов cookie
Конфиденциальность Обзор
Diese Website verwendet Cookies, um Nutzungskomfort zu verbessern. Von diesen Cookies werden die akzeptierten Cookies im Browser gespeichert, da sie für das Funktionieren der Website unerlässlich sind. Wir verwenden auch Cookies von Drittanbietern, mit denen wir analysieren und nachvollziehen können, wie Sie diese Website nutzen. Diese Cookies werden nur mit Ihrer Zustimmung in Ihrem Browser gespeichert. Sie haben auch die Möglichkeit, diese Cookies zu deaktivieren. Das Deaktivieren einiger dieser Cookies kann sich jedoch auf Ihr Surferlebnis auswirken.
Необходимые куки необходимы для нормального функционирования сайта. Эта категория содержит только файлы cookie, которые обеспечивают основные функциональные возможности и функции безопасности сайта. Эти куки не хранят личную информацию.
Все файлы cookie, которые не являются строго необходимыми для функционирования веб-сайта и которые специально используются для сбора личной информации пользователя с помощью аналитики, рекламы и другого встроенного содержимого, называются несущественными файлами cookie. Перед использованием этих файлов cookie на вашем веб-сайте необходимо получить согласие пользователя.