CLEANSORB® PRIMELINE PS und PD

Die PRIMELINE-Serie verfügt in unserer Palette der Abgasreinigungssysteme über die meisten Funktionen. Das System ist speziell konstruiert, um hohe Gasflüsse zu bewältigen sowie den Erfordernissen sicherheits-kritischer Anwendungen zu genügen – insbesondere der metallorganischen Gasphasenabscheidung (MOCVD).

Das etwas kleinere CLEANSORB PS Modell verfügt zusätzlich zur Hauptsäule über eine Back-up Säule, so dass der Produktionsprozess zu Ende gefahren werden kann, auch wenn die Kapazität der Hauptsäule aufge-braucht ist. Im größeren CLEANSORB PD Modell sind zwei Hauptsäulen sowie eine zusätzliche Back-up Säule integriert; auf diese Weise bleibt die volle SEMI-konforme Sicherheitsfunktion dieses Trockenbettabsorbers auch beim Betrieb mit nur einer der beiden Hauptsäulen erhalten, während die zweite Hauptsäule unabhängig davon gespült und zum Austausch ausgebaut werden kann.

Ihre Vorteile

  • Spezielle CLEANSORB® Chemisorber Materialien für kritische Gase aus MOCVD-Prozessen, wie z. B. AsH3, PH3 oder GeH4
  • Optimiert für sichere Handhabung hoher Ströme aus Silizium- und III-V-Epitaxie-Prozessen
  • Einzigartige Kontrollfunktionen wie z. B. eine Infrarot-Schiene zur Messung des Temperaturprofils und ein Stickstoff-Kühlmechanismus
  • Back-up Säule für maximale Systemverfügbarkeit und höhere Produktivität
  • Auch erhältlich mit SEMI-S2 Konformität mit zusätzlichen Sicherheitsstandards

Spezifische Fragen beantworten wir Ihnen gerne telefonisch oder per E-Mail.