CLEANSORB^® PRIMELINE PS und PD

Die PRIMELINE-Serie verfügt über die meisten Funktionen. Damit übertrifft sie unsere gesamte Palette der Abgasreinigungssysteme. Das System ist speziell konstruiert, um hohe Gasflüsse zu bewältigen. PRIMELINE genügt den Erfordernissen sicherheits-kritischer Anwendungen – insbesondere der metallorganischen Gasphasenabscheidung (MOCVD).

Das etwas kleinere CLEANSORB PS Modell verfügt zusätzlich zur Hauptsäule über eine Back-up Säule. Der Produktionsprozess kann so zu Ende gefahren werden, auch wenn die Kapazität der Hauptsäule aufgebraucht ist. Im größeren CLEANSORB PD Modell sind zwei Hauptsäulen sowie eine zusätzliche Back-up Säule integriert; auf diese Weise bleibt die volle SEMI-konforme Sicherheitsfunktion dieses Trockenbettabsorbers auch beim Betrieb mit nur einer der beiden Hauptsäulen erhalten, während die zweite Hauptsäule unabhängig davon gespült und zum Austausch ausgebaut werden kann.

Ihre Vorteile

• Spezielle CLEANSORB^® Chemisorber Materialien für kritische Gase aus MOCVD-Prozessen, wie z. B. AsH₃, PH₃ oder GeH₄
• Optimiert für sichere Handhabung hoher Ströme aus Silizium- und III-V-Epitaxie-Prozessen
• Einzigartige Kontrollfunktionen wie z. B. eine Infrarot-Schiene zur Messung des Temperaturprofils und ein Stickstoff-Kühlmechanismus
• Back-up Säule für maximale Systemverfügbarkeit und höhere Produktivität
• Auch erhältlich mit SEMI-S2 Konformität mit zusätzlichen Sicherheitsstandards

Spezifische Fragen beantworten wir Ihnen gerne telefonisch oder per E-Mail.