CLEANSORB® FABLINE

FABLINE ist das Standard CLEANSORB Modell für die Schadgasbeseitigung auf Produktionsebene. Erhältlich in drei Säulengrößen läßt sich dieses Modell optimal an die Erfordernisse sowohl einer Pilotlinie wie auch einer vollständigen Produktions-anlage anpassen. Mit mehreren Tausend installierten Trockenbettabsorbersystemen weltweit ist das FABLINE durch das proprietäre CLEANSORB® Granulat und seine integrierte Sicherheit und Effizienz das Modell der Wahl für die unterschiedlichsten Prozessapplikationen: Plasmaätzen, CVD, ALD, Ionenimplantation und CIGS Photovoltaik.

Ihre Vorteile:

  • Passives Operationsprinzip, kein Verbrauch von Strom, Treibstoff oder Wasser
  • Hergestellt aus korrosionsbeständigem 316L Edelstahl und weiteren Bauteilen von höchster Qualität
  • Automatisiertes Verfahren für Druckhaltetest und Inertgasspülung erleichtern den Säulenwechsel
  • Unterschiedlichste Konfigurationsvarianten, wie z. B. integrierter Blower
  • Auch erhältlich mit SEMI-S2 Konformität mit zusätzlichen Sicherheitsstandards

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