CLEANSORB® FABLINE FX Übersetzung
FX ist die neueste Version der CLEANSORB® FABLINE Serie, deren Zuverlässigkeit sich bereits in mehreren tausend Installationen weltweit bewährt hat. Eine zusätzliche Backup-Säule bietet den Vorteil eines unterbrechungsfreien Zweisäulenmodells, jedoch mit geringerem Platzbedarf.
Betriebsmodi und Systemstatus können über ein Touchscreen-Display manuell visualisiert und ausgewählt werden, während Gasspülung und Dichtheitsprüfung der Absorbersäule vollständig automatisiert sind.
Dank der Sicherheit und Leistung der CLEANSORB®-Chemisorbermedien ist FABLINE FX das Modell der Wahl für eine Vielzahl von Prozessanwendungen, darunter:
Plasma Ätzen, CVD, ALD, Ionenimplantation und Photovoltaik.
Ihre Vorteile
- Passives Funktionsprinzip, benötigt weder Strom noch Heizung, Kraftstoff oder Wasser
- Hergestellt aus korrosionsbeständigem 316L-Edelstahl und hochwertigen Komponenten
- Modernste Fernanbindung über USB, Ethernet, FTP, NTP, OPC.
- Große Auswahl an Konfigurationen und Optionen, einschließlich integriertem Gebläse
- Erhältlich als SEMI-S2-konforme Version mit redundanten Sicherheitsfunktionen
Spezifische Fragen beantworten wir Ihnen gerne telefonisch oder per E-mail.
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