CLEANSORB 건식 베드 흡착제의 가스 보존 성능*

가스 또는 액체 전구체 종류화학식배출구 농도
암모니아NH320ppm
아르신AsH30.05ppm
Bis(cyclopentadienyl)magnesiumMg(C5H5)23mg/m3(MgO)
Bis(tert-butylamino)silaneSiH2(NHC4H9)25ppm(SiH4)
삼브롬화붕소BBr31ppm
삼염화붕소BCl31ppm
삼플루오르화붕소BF30.35ppm
브롬Br20.1ppm
일산화탄소CO30ppm
염소Cl20.5ppm
삼플루오르화염소ClF30.1ppm
크롬 헥사카르보닐Cr(CO)62mg/m3(Cr)
다이보레인B2H60.1ppm
디클로로실란SiH2Cl22ppm(HCl)
디에틸 텔룰라이드Te(C2H5)20.1mg/m3(Te)
디에틸아민C4H11N5ppm
디에틸아연(DEZn)Zn(C2H5)22mg/m3(Zn)
다이게르만Ge2H60.2ppm(GeH4)
디메틸 디메톡시 실란Si(CH3)2(OCH3)25ppm(SiH4)
디메틸 실란SiH2(CH3)25ppm(SiH4)
디메틸 텔룰라이드Te(CH3)20.1mg/m3(Te)
디메틸라민C2H7N2ppm
디메틸카드뮴Cd(CH3)20.01mg/m3(Cd)
디메틸히드라진(UDMH)N2H2(CH3)20.01ppm
디메틸아연Zn(CH3)22mg/m3(Zn)
디실란Si2H65ppm
에틸메틸아민C3H9N2ppm(디메틸아민)
플루오르F21ppm
플루오로포스젠/플루오르화 카르보닐COF21ppm(HF)
포름알데히드CH2O0.3ppm
게르만GeH40.2ppm
하이드라진N2H40.01ppm
브롬화수소HBr1ppm
염화수소HCl2ppm
플루오르화수소HF1ppm
셀렌화수소H2Se0.015ppm
황화수소H2S5ppm
요오드I20.1ppm
메틸트리클로로실란CH3SiCl32ppm(HCl)
모노메틸실란SiH3CH35ppm(SiH4)
일산화질소NO25ppm
이산화질소N2O4 (NO2)3ppm
Pentakis(dimethylamino)tantalum(PDMATa)Ta(N(CH3)2)52ppm(디메틸아민)
포스겐COCl20.02ppm
포스핀PH30.1ppm
오염화인PCl51mg/m3
삼브롬화인PBr30.5ppm
삼염화인PCl30.5ppm
삼플루오르화인PF33ppm
염화포스포릴POCl30.2ppm
루테노센C10H10Ru20mg/m3(Ru)
실란SiH45ppm
스티빈SbH30.1ppm
이산화황SO20.5ppm
탄탈럼 에톡시드Ta(OC2H5)520mg/m3(Ta2O5)
오염화탄탈룸TaCl52ppm(HCl)
오플루오르화탄탈룸TaF51ppm(HF)
육플루오르화텔루륨TeF60.02ppm
터티아리부틸아르신(TBA)AsH2(C4H9)0.01mg/m3(As)
터티아리부틸포스핀(TBP)PH2(C4H9)0.1ppm(PH3)
테트라브로모메탄CBr41ppm(HBr)
테트라카르보닐니켈Ni(CO)40.2mg/m3(Ni)
테트라클로실란SiCl42ppm(HCl)
테트라에틸오소실리케이트Si(OC2H5)410ppm
테트라플루오로실란SiF41ppm(HF)
테트라키스(디메틸아미노)하프늄(TDMAHf)Hf(N(CH3)2)42ppm(디메틸아민)
테트라키스(디메틸아미노)티타늄(TDMATi)Ti(N(CH3)2)42ppm(디메틸아민)
테트라키스(디메틸아미노)지르코늄(TDMAZr)Zr(N(CH3)2)42ppm(디메틸아민)
테트라키스(에틸메틸아미노)하프늄(TEMAHf)Hf(NC2H5CH3)42ppm(디메틸아민)
테트라키스(에틸메틸아미노)지르코늄(TEMAZr)Zr(NC2H5CH3)42ppm(디메틸아민)
사염화 티타늄TiCl42ppm(HCl)
사플루오르화 티타늄TiF41ppm(HF)
트리클로로실란SiHCl32ppm(HCl)
트리에틸알루미늄Al(C2H5)32mg/m3(Al)
트리에틸 보란B(C2H5)30.5mg/m3( H3BO3)
트리에틸갈륨Ga(C2H5)33mg/m3(Ga2O3)
트리에틸인듐In(C2H5)30.1mg/m3(In)
인산트리에틸PO(C2H5O)350 mg/m3
인산트리메틸C3H9O3P2ppm
트리메틸알루미늄(TMAl)Al(CH3)32mg/m3(Al)
트리메틸안티몬Sb(CH3)30.5mg/m3(Sb)
트리메틸붕소B(CH3)30.1ppm
트리메틸갈륨(TMGa)Ga(CH3)33mg/m3(Ga2O3)
트리메틸인듐(TMIn)In(CH3)30.1mg/m3(In)
트리실란Si3H85ppm(SiH4)
육카르보닐텅스텐W(CO)65mg/m3(W)
육플루오르화텅스텐WF61ppm(HF)
이플루오린화제논XeF21ppm(F2)

* 시스템 사양은 개별 공정 응용 분야에 대한 검토와 승인을 바탕으로 합니다.