CLEANSORB ^®  PRIMELINE PS 및 PD

PRIMELINE 시리즈는 CLEANSORB 계열의 건식 베드 배기 가스 저감 시스템의 모든 기능을 갖춘 버전을 나타냅니다. 이 시스템은 특히 안전하고 중요한 공정 응용 분야의 가스 흐름 및 관련 작동 조건, 특히 금속 유기 화학 증착 ( MOCVD )의 공정 조건을 처리하도록 설계되었습니다 .

작은 크기의 CLEANSORB PS 모델에는 백업 컬럼이있어 메인 흡수기 컬럼의 용량이 고갈 된 후에도 생산이 완료 될 수 있습니다. 더 큰 CLEANSORB PD 모델에는 2 개의 풀 사이즈 흡수기 컬럼과 백업 컬럼이 통합되어 있습니다. 하나의 메인 컬럼은 완전한 SEMI-S2- 준수 세이프티 보호 기능을 통해 배기 가스를 능동적으로 흡수 할 수 있으며 리필을 위해 캐비닛에서 제거하기 전에 두 번째 컬럼을 독립적으로 퍼지합니다.

장점 :

•  AsH ₃ , PH ₃  또는 GeH ₄ 와 같은 중요한 MOCVD 가스 전용 CLEANSORB ^® 화학 흡착제
• 고 유량 실리콘 및 III-V 에피 택셜 공정의 안전한 열 관리를 위해 최적화 됨
• 적외선 온도 모니터링 및 불활성 가스 냉각과 같은 고유 한 안전 기능
• 자동화 된 운영 루틴을 갖춘 터치 스크린 컨트롤 (PD 모델)
• 중복 안전 기능이있는 SEMI-S2 호환 버전으로 제공

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