CLEANSORB® FABLINE

FABLINE은 생산 수준에서 유해 가스를 제거하기위한 표준 모델입니다. 3 가지 크기로 제공되며 파일럿 라인의 요구 사항에 맞게 최적화 할 수 있습니다. 또한 완벽한 생산 설비에 적용 할 수 있습니다. 전 세계적으로 수천 가지의 건식 흡수 시스템이 설치되어있는 FABLINE은 독점적 인 CLEANSORB® 과립 덕분에 이상적인 모델입니다. 통합 된 안전성과 효율성은 광범위한 공정 응용 분야를 포괄합니다.

플라즈마 에칭, CVD, ALD, 이온 주입 및 CIGS Photovoltaics.

장점 :

  • 수동 작동 원리는 전기, 난방, 연료 또는 물을 필요로하지 않습니다.
  • 내 부식성 316L 스테인리스 스틸 및 고품질의 신뢰할 수있는 구성 요소로 제작
  • 압력 유지 테스트 및 불활성 가스 퍼징을위한 자동화 된 루틴은 컬럼 변경을 단순화합니다.
  • 통합 송풍기를 포함한 광범위한 구성 및 옵션
  • 중복 안전 기능이있는 SEMI-S2 호환 버전으로 제공

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