原子層堆積(ALD)

原子層堆積法(ALD)では、エピタキシャルおよび CVD 膜の成長を原子レベルで制御できます。膜形成種が成長チャンバーに交互に投入され、単分子層が形成されます。これにより、20 nm 以下の寸法のデバイス構造にも対応することができます。

 

最新世代のトランジスタゲートやその他の重要な構造体の堆積には、金属化合物や利用可能なソースが液体有機金属のみの大きな分子が必要です。CLEANSORB 乾燥床ケミソーバーテクノロジーは、幅広い気体および液体の ALD 前駆体向けの安全で効率の良いソリューションを提供します。

ALD プロセス一般的に使用されるガス
ゲート電極MPA、Ru(Cp)2、PEMAT
低-k 絶縁誘導体1MS、2MS、3MS、DMDMOS
高-k 絶縁誘導体TMA、TEMAH、TDEAH、TAETO、PET
バリア層TiCl4、NH3、TDMAT、PDMATa、PDEATa、TAETO、W(CO)6
CS-Clean Solutions Picture Cleansorb at Work