ガス換気および漏えい事故による汚染
特殊ガスは、シリンダーキャビネットまたは屋外貯蔵庫の大型容器から処理ツールへと供給されます。一般的に採用されているガスの多くは、毒性、発火性、または腐食性のガスです。
シリンダーからのガスの漏えいが制御できなければ、圧縮された高濃度のガスにより、作業場と近隣の両方の安全が重大な脅威にさらされることになります。ガス供給パネルの残留ガスがパージされている場合は、シリンダー交換中も有害ガスを安全に取り扱う必要があります。
シリンダーからのガスの漏えいが制御できなければ、圧縮された高濃度のガスにより、作業場と近隣の両方の安全が重大な脅威にさらされることになります。ガス供給パネルの残留ガスがパージされている場合は、シリンダー交換中も有害ガスを安全に取り扱う必要があります。
ガス供給側の安全要件を満たすために、CLEANVENT カートリッジおよび CLEAN-PROTECT ガス漏えい吸着体をご用命ください。
ガスのカテゴリ | 例 |
---|---|
有毒 | AsH3、H2S、COCl2、HCN |
発火性 | PH3、B2H6、GeH4 |
腐食性 | HCl、Cl2、HBr、BF3、F2 |
