CLEANSORB ®  PRIMELINE

PRIMELINEシリーズは、CLEANSORB乾床排ガス除害システムのフル機能バージョンを表しています。特に、有機金属化学気相成長法（MOCVD）のような安全性が重要なプロセスアプリケーションのガスフローおよび関連する動作条件を処理するために設計されています。

小形フットプリントのCLEANSORB PSモデルはバックアップコラムを備えているため、主吸収塔の容量がなくなっても生産を完了することができます。より大きなCLEANSORB PDモデルには、2つのフルサイズ吸収塔とバックアップ塔が組み込まれています。1つのメインカラムはSEMI-S2準拠の完全な安全保護機能を備えた排気ガスを吸収して活性を維持することができ、第2カラムは補充のためにキャビネットから取り外す前に独立してパージされます。

あなたの利点：

  • 専用CLEANSORB ®  ようアッシュ臨界MOCVDガスのchemisorberメディア3、PH 3  またはのGeH 4
  • 高流量シリコンおよびIII-Vエピタキシャルプロセスの安全な熱管理に最適化
  • 赤外線温度監視や不活性ガス冷却などの独自の安全機能
  • 自動操作ルーチンによるタッチスクリーン制御（PDモデル）
  • 冗長安全機能を備えたSEMI-S2準拠バージョン

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