TECHNOLOGIE D’ÉLIMINATION DES GAZ D’ÉCHAPPEMENT

De nombreux gaz de procédé de spécialités utilisés dans le traitement des plaquettes à semi-conducteur et autres secteurs de fabrication sont pyrophoriques, toxiques ou corrosifs. Les gaz de procédé inutilisés et les sous-produits dangereux doivent être éliminés de manière efficace et sécurisée des conduites d’évacuation afin d’assurer la sécurité du personnel, la conformité avec les normes d’émission et le temps de disponibilité du procédé.

La technologie de chimisorption à sec CLEANSORB® élimine les gaz de procédé dangereux par transformation chimique en solides stables à température ambiante. Il s’agit de la technologie au service de la ligne de produits d’élimination à sec CS CLEAN SOLUTIONS. Cette opération ne requiert aucune installation de chauffage externe, d’hydratation ou autre. La réaction de chimisorption entre le gaz et l’agent absorbant est irréversible, transformant les gaz dangereux en une forme solide et garantissant l’impossibilité de leur libération.

Après avoir été retirée de l’armoire CLEANSORB, la colonne est prête à être expédiée au centre de recharge et de service CS CLEAN SOLUTIONS le plus proche. Les colonnes d’absorption y sont nettoyées, rechargées, contrôlées et testées conformément aux réglementations locales ou nationales. Le cas échéant, les matériaux consommés sont retransformés afin de récupérer des métaux ou à des fins d’autres utilisations industrielles.

Nos granulés sont soumis en permanence à des procédures de contrôle qualité et à des travaux de R&D continus afin de suivre les technologies de procédé et chimies émergentes.