CLEANSORB^® PRIMELINE PS ET PD

La série PRIMELINE représente la version complète de la famille CLEANSORB de systèmes d’épuration des gaz d’échappement à lit sec. Le système est spécialement conçu pour gérer les flux de gaz et les conditions de fonctionnement associées des applications de processus critiques pour la sécurité, notamment celles du dépôt chimique en phase vapeur par procédé chimique en phase vapeur ( MOCVD ).

Les modèles CLEANSORB PS à plus faible encombrement disposent d’une colonne de secours, ce qui permet d’achever la production même lorsque la capacité de la colonne d’absorption principale est épuisée. Le modèle CLEANSORB PD de plus grande taille comprend deux colonnes d’absorption en taille réelle plus une colonne de secours; une colonne principale peut rester active en absorbant les gaz d’échappement avec une protection de sécurité complète conforme à la norme SEMI-S2, tandis que la seconde colonne est purgée indépendamment avant d’être retirée de l’armoire pour être rechargée.Vos avantages:

• Supports de chimisorber CLEANSORB^® dédiés pour les gaz MOCVD critiques tels que AsH₃, PH₃ ou GeH₄
• Optimisé pour une gestion thermique sûre du silicium à haut débit et des processus épitaxiaux III-V
• Fonctions de sécurité uniques telles que la surveillance de la température infrarouge et le refroidissement du gaz inerte
• Commande à écran tactile (modèle PD) avec routines de fonctionnement automatisées
• Disponible en version compatible SEMI-S2 avec des fonctions de sécurité redondantes

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