Muchos de los gases de procesos especiales que se utilizan en el procesamiento de obleas de semiconductores y otros sectores industriales son autoinflamables, tóxicos o corrosivos. Los gases de proceso no utilizados y los subproductos peligrosos se deben eliminar de forma eficiente y segura de las líneas de purga para garantizar la seguridad del personal, el cumplimiento de la normativa sobre emisiones y el desarrollo ininterrumpido del proceso.
El medio quimisorbente en lecho seco CLEANSORB® elimina los gases de proceso peligrosos mediante su conversión química en sólidos estables a temperatura ambiente y es la tecnología que subyace en la línea de productos de depuración en seco CS CLEAN SOLUTIONS. No se requiere calentamiento, humidificación ni otras instalaciones para su funcionamiento. La reacción de quimisorción entre el gas y el absorbente es irreversible, lo cual asegura que los gases peligrosos se combinan en forma sólida y no pueden volver a liberarse.
Tras su extracción del módulo CLEANSORB, la columna se puede enviar al centro de rellenado y servicios de CS CLEAN SOLUTIONS más cercano. En estos centros, las columnas se limpian, rellenan, revisan y prueban de conformidad con las normas locales o nacionales. Además, siempre que resulte posible, los materiales gastados se vuelven a procesar para la recuperación de metales u otros usos industriales.
Nuestros granulados se someten a procedimientos permanentes de control de la calidad y a un trabajo continuo de I+D para estar al día en todo lo referente a las nuevas tecnologías y químicas de procesos.
