CLEANSORB® PRIMELINE

La serie PRIMELINE representa la versión completa de la familia CLEANSORB de sistemas de reducción de gases de escape en lecho seco. El sistema está especialmente diseñado para manejar los flujos de gas y las condiciones de operación relacionadas de las aplicaciones de procesos críticos para la seguridad, especialmente los de la deposición de vapor químico orgánico de metal (MOCVD).

Los modelos CLEANSORB PS de menor tamaño cuentan con una columna de respaldo, lo que permite que la producción se complete hasta después de que la capacidad de la columna principal de absorción se haya agotado. El modelo CLEANSORB PD más grande incorpora dos columnas de absorción de tamaño completo más una columna de respaldo; una columna principal puede permanecer activa absorbiendo los gases de escape con protección de seguridad completa conforme con SEMI-S2, mientras que la segunda columna se purga independientemente antes de retirarla del gabinete para rellenarla.

Sus ventajas:

  • Medios chemisorber dedicados CLEANSORB® para gases MOCVD críticos como AsH3, PH3 o GeH4
  • Optimizado para una gestión térmica segura de silicio de alto flujo y procesos epitaxiales III-V
  • Funciones de seguridad únicas, como la supervisión de la temperatura por infrarrojos y la refrigeración por gas inerte
  • Control de pantalla táctil (modelo PD) con rutinas operativas automatizadas
  • Disponible como versión compatible con SEMI-S2 con funciones de seguridad redundantes

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