EFICACIA EN LA RETENCIÓN DE GASES* DE LOS ABSORBEDORES DE LECHO SECO CLEANSORB *

Precursor líquido o gaseosoFórmula químicaConcentración en la salida
AmoníacoNH320 ppm
ArsanoAsH30,05 ppm
Bis(ciclopentadienilo)magnesioMg(C5H5)23 mg/m3 (MgO)
Bis(terc-butilamina)silanoSiH2(NHC4H9)25 ppm (SiH4)
Tribromuro de boroBBr31 ppm
Triclururo de boroBCl31 ppm
Trifluoruro de boroBF30,35 ppm
BromoBr20,1 ppm
Monóxido de carbonoCO30 ppm
CloroCl20,5 ppm
Trifluoruro de cloroClF30,1 ppm
Hexacarbonilo de cromoCr(CO)62 mg/m3 (Cr)
DiboranoB2H60,1 ppm
DiclorosilanoSiH2Cl22 ppm (HCl)
DietiltelurioTe(C2H5)20,1 mg/m3 (Te)
DietilaminaC4H11N5 ppm
Dietilzinc (DEZn)Zn(C2H5)22 mg/m3 (Zn)
DigermanioGe2H60,2 ppm (GeH4)
Dimetil dimetoxisilanoSi(CH3)2(OCH3)25 ppm (SiH4)
DimetilsilanoSiH2(CH3)25 ppm (SiH4)
DimetiltelurioTe(CH3)20,1 mg/m3 (Te)
DimetilaminaC2H7N2 ppm
DimetilcadmioCd(CH3)20,01 mg/m3 (Cd)
Dimetilhidrazina (UDMH)N2H2(CH3)20,01 ppm
DimetilzincZn(CH3)22 mg/m3 (Zn)
DisilanoSi2H65 ppm
EtilmetilaminaC3H9N2 ppm (dimetilamina)
FlúorF21 ppm
Fluorofosgeno/fluoruro de carboniloCOF21 ppm (HF)
FormaldehídoCH2O0,3 ppm
GermanoGeH40,2 ppm
HidrazinaN2H40,01 ppm
Bromuro de hidrógenoHBr1 ppm
Cloruro de hidrógenoHCl2 ppm
Fluoruro de hidrógenoHF1 ppm
Seleniuro de hidrógenoH2Se0,015 ppm
Sulfuro de hidrógenoH2S5 ppm
YodoI20,1 ppm
MetiltriclorosilanoCH3SiCl32 ppm (HCl)
MonometilsilanoSiH3CH35 ppm (SiH4)
Monóxido de nitrógenoNO25 ppm
Dióxido de nitrógenoN2O4 (NO2)3 ppm
Pentakis(dimetilamino)tantalio (PDMATa)Ta(N(CH3)2)52 ppm (dimetilamina)
FosgenoCOCl20,02 ppm
FosfanoPH30,1 ppm
Pentacloruro de fósforoPCl51 mg/m3
Tribromuro de fósforoPBr30,5 ppm
Tricloruro de fósforoPCl30,5 ppm
Trifluoruro de fósforoPF33 ppm
Cloruro de fosforiloPOCl30,2 ppm
RutenocenoC10H10Ru20 mg/m3 (Ru)
SilanoSiH45 ppm
EstibanoSbH30,1 ppm
Dióxido de azufreSO20,5 ppm
Etóxido de tantalioTa(OC2H5)520 mg/m3 (Ta2O5)
Pentacloruro de tantalioTaCl52 ppm (HCl)
Pentafluoruro de tantalioTaF51 ppm (HF)
Hexafluoruro de teluroTeF60,02 ppm
Terc-butilarsina (TBAs)AsH2(C4H9)0,01 mg/m3 (As)
Terc-butilfosfina (TBP)PH2(C4H9)0,1 ppm (PH3)
TetrabromometanoCBr41 ppm (HBr)
Tetracarbonilo de níquelNi(CO)40,2 mg/m3 (Ni)
Tetracloruro de silicioSiCl42 ppm (HCl)
Tetraetil ortosilicatoSi(OC2H5)410 ppm
Tetrafluoruro de silicioSiF41 ppm (HF)
Tetrakis(dimetilamimo)hafnio (TDMAHf)Hf(N(CH3)2)42 ppm (dimetilamina)
Tetrakis(dimetilamimo)titanio (TDMATi)Ti(N(CH3)2)42 ppm (dimetilamina)
Tetrakis(dimetilamimo)zirconio (TDMAZr)Zr(N(CH3)2)42 ppm (dimetilamina)
Tetrakis(etilmetilamino)hafnio (TEMAHf)Hf(NC2H5CH3)42 ppm (dimetilamina)
Tetrakis(etilmetilamino)zirconio (TEMAZr)Zr(NC2H5CH3)42 ppm (dimetilamina)
Tetracloruro de titanioTiCl42 ppm (HCl)
Tetrafluoruro de titanioTiF41 ppm (HF)
TriclorosilanoSiHCl32 ppm (HCl)
TrietilaluminioAl(C2H5)32 mg/m3 (Al)
TrietilboranoB(C2H5)30,5 mg/m3 ( H3BO3)
TrietilgalioGa(C2H5)33 mg/m3 (Ga2O3)
TrietilindioIn(C2H5)30,1 mg/m3 (In)
TrietilfosfatoPO(C2H5O)350 mg/m3
TrimetilfosfitoC3H9O3P2 ppm
Trimetilaluminio (TMAl)Al(CH3)32 mg/m3 (Al)
TrimetilantimonioSb(CH3)30,5 mg/m3 (Sb)
TrimetilboroB(CH3)30,1 ppm
Trimetilgalio (TMGa)Ga(CH3)33 mg/m3 (Ga2O3)
Trimetilindio (TMIn)In(CH3)30,1 mg/m3 (In)
TrisilanoSi3H85 ppm (SiH4)
Hexacarbonilo de wolframioW(CO)65 mg/m3 (W)
Hexafluoruro de wolframioWF61 ppm (HF)
Difluoruro de xenónXeF21 ppm (F2)

* Die Konfiguration des Absorbers richtet sich nach der jeweiligen Prozessapplikation